日本新宇宙XPS-7Ⅱ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀
簡(jiǎn)要描述:日本新宇宙XPS-7Ⅱ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀可用于在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè) 只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體
- 更新時(shí)間:2024-01-16
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產(chǎn)品詳情
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本新宇宙XPS-7Ⅱ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀可用于在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè) 只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體(氨氣NH3,四氧化硅SIH4,二氯二氫硅SIH2Cl2,砷化氫ASH3,磷化氫PH3,B2H6,硒化氫H2SE,氫化鍺GEH4, 氯氣CL2,CLF3,氯化氫HCl,氟化氫HF,溴化氫HBr,一氧化氮NO,硫化氫H2S等) 根據(jù)氣體種類(lèi)不同,滿量程也會(huì)略有不同。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體
● 用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行氣體檢測(cè)器校正
● 可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
產(chǎn)品用途
● 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
● 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
日本新宇宙XPS-7Ⅱ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀技術(shù)參數(shù)